クリーンルームの清浄度(クラス)について

classクリーンルームとは、空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が定められた清浄度レベル以下に管理され、必要に応じて温度・湿度・圧力などの環境条件についても管理が行われている空間です。清浄度(クラス)は、【アメリカ連邦規格Fed.Std.209E】と、【JIS B9920、及び、ISO 14644-1】の2つの規格に大別されます。

アメリカ連邦規格Fed.Std.209E

1立方フィート(28.3L)あたりに含まれる粒径0.5μm以上の粒子の数でクラス分けが行われます。

清浄度クラス 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
クラス1 35 7.5 3 1
クラス10 350 75 30 10
クラス100 750 300 100
クラス1,000 1,000 7
クラス10,000 10,000 70
クラス100,000 100,000 700

JIS B9920、及び、ISO 14644-1

1立方メートルあたりに含まれる粒径0.1μm以上の粒子の数でクラス分けが行われます。

清浄度クラス 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm Fed.Std.209E 相当
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1,000 237 102 35 8 クラス 1
ISO 4 10,000 2,365 1,018 352 83 クラス 10
ISO 5 100,000 23,651 10,176 3,517 832 29 クラス 100
ISO 6 1,000,000 236,514 101,763 35,168 8,318 293 クラス 1,000
ISO 7 351,676 83,176 2,925 クラス 10,000
ISO 8 3,516,757 831,764 29,251 クラス 100,000

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