クリーンルームの清浄度（クラス）について
クリーンルームとは、空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が定められた清浄度レベル以下に管理され、必要に応じて温度・湿度・圧力などの環境条件についても管理が行われている空間です。清浄度（クラス）は、【アメリカ連邦規格Fed．Std．209E】と、【JIS B9920、及び、ISO 14644-1】の２つの規格に大別されます。
アメリカ連邦規格Fed．Std．209E
1立方フィート（28.3L）あたりに含まれる粒径0.5μm以上の粒子の数でクラス分けが行われます。
| 清浄度クラス | 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm |
|---|---|---|---|---|---|
| クラス1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | |
| クラス10 | 350 | 75 | 30 | 10 | |
| クラス100 | 750 | 300 | 100 | ||
| クラス1,000 | 1,000 | 7 | |||
| クラス10,000 | 10,000 | 70 | |||
| クラス100,000 | 100,000 | 700 |
JIS B9920、及び、ISO 14644-1
1立方メートルあたりに含まれる粒径0.1μm以上の粒子の数でクラス分けが行われます。
| 清浄度クラス | 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | Fed．Std．209E 相当 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | 10 | ||||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | ||||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | クラス 1 | ||
| ISO 4 | 10,000 | 2,365 | 1,018 | 352 | 83 | クラス 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,651 | 10,176 | 3,517 | 832 | クラス 100 | |
| ISO 6 | 1,000,000 | 236,514 | 101,763 | 35,168 | 8,318 | 293 | クラス 1,000 |
| ISO 7 | 351,676 | 83,176 | 2,925 | クラス 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,516,757 | 831,764 | 29,251 | クラス 100,000 |